---质谱检漏设备_---质谱检漏仪_质谱检漏真空系统
北京华诚浩达真空空压设备有限公司
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主营：氦质谱检漏设备,氦质谱检漏仪,质谱检漏真空系统
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-质谱检漏仪是一种精度-的-机查漏仪器，具有灵敏度高、抗干扰、不污染环境(以前的卤素检漏污染环境)、不危及安全生产(以前的烛光法不适用于氢冷发电机)等优点。泄漏和密封相对应，很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机，液晶注入机，pvd，半导体外延等等)，需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等)，要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果-，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。
-质谱检漏仪分析器的作用是使不同质荷比的离子按不同轨迹运动从而将它们彼此分开，仅使-离子通过其出口隙缝。分析器由一个外加均匀磁场及一个出口电极组成。
-质谱检漏仪分析器的出口电极一般采用三栅结构。在离子收集极前面有三个栅极g1、g2、g3。g1和g3接地，中间栅极g2与离化室相连。g1栅的狭缝决定了-离子的运动半径，而使除-以外的其他离子打不到收集极上去。中间栅极g2的正电位对于正离子而言相当于一个拒斥电场，只有具有一定能量的-离子才能通过g2的狭缝，而由于碰撞失去能量的其他杂散离子即使进入g1狭缝，也不能通过g2狭缝到达收集极，使收集极的-离子流不受这些杂散离子的干扰。栅极g3是抑制离子在收集极上打出的二次电子不跑向g2，使它仍返回收集极，以防离子流的不稳定。
漏率的温度修正
标准漏孔漏率易受温度变化影响，温度对标准漏孔漏率的影响一般为3%/℃ ，所以如果实际环境温度和标准漏孔-中温度不一致，需要将标准漏孔-中漏率和标准漏孔漏率的-质谱检漏仪示值修正至同一环境温度下来计算，并在测试结果中加以说明，修正方法如下:
方法一: 将标准漏孔-中的漏率修正至实际环境温度下，用标准漏孔-中的漏率加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值；
方法二: 将标准漏孔漏率的-质谱检漏仪示值平均值修正至标准漏孔-中环境温度下，用标准漏孔漏率的-质谱检漏仪示值平均值加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值。
-质谱检漏方法 ( 以下简称-检)以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。-检方法基本上可分为用-气内部加压法和 设备内部抽真空外部施-这两种，由于后者需将 设备完全-真空状态， 往往会增加测-设备( 如高、低压真空泵、真空阀等)和设备工装 ( 如 外压加强圈)而使造价提高，所以该方法通常用于容积小而厚壁的设备;对于大多数压力容器而言，通常优先选用-种方法。
于-检是通过-穿过漏孔来检漏的，所以焊缝表面若存有油污、 焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果，因此，测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。
吸与质谱检漏仪之间使用金属软管连接。-质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。-质谱检漏仪的检漏率应高于设备所允许漏率1-2个数量级。首先将设备稳固的置于明亮、透风-的场所，连接好检漏用管路及压力表，应将压力表安装在测漏容器的顶部便于观察的位置。可先用氮气或其它惰性气体将设备压力提高， 然后用纯-气或-气混合气把测试设备的内压增加至测试压力且 应使设备内部至少含有10%-20%的-气含量。测漏压力应不高于设备设计压力的2 5 %，但不低于0. 1 03mp。设备备保压3 0分钟后， 用扫描率不大于2 5 mm/秒或更慢的速度在距离焊缝表面不大于3 mm的范围内用吸吮吸， 并应从焊缝底部而行。
管板等焊缝较多或检测面积较大时，可将该部分用塑料薄膜完全罩住并用胶带封住，以使 泄漏的-气进入罩中如图2所示。在塑料罩的不同处做出小孔，在充入一定的-气前、后各记录的读数，然后封住小孔，1- 2小时后在相同的位置上记录新的读数。如发现泄漏，则应按前述的方法逐条焊缝进行-直至找到泄漏点。
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